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SEM冷凍真空傳輸系統(tǒng)高匹配360°(無限)旋轉(zhuǎn)冷臺，冷臺傾轉(zhuǎn)角度55°，冷臺溫度≤180℃。

SEM熱電芯片臺可搭配電學(xué)測試，兼容型號掃描電鏡，芯片兼容TEM-MEMS原位芯片樣品桿。

PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)，集成了掃描探針控制單元，可在三維空間內(nèi)對電學(xué)探針與光纖探針進(jìn)行亞納米級別精度的操縱與定位。

PicoFemto掃描電鏡原位高溫拉伸臺集成了力學(xué)拉伸模塊以及高溫環(huán)境模塊，可以實(shí)現(xiàn)在掃描電鏡中對樣品原位加熱的同時(shí)進(jìn)行拉伸實(shí)驗(yàn)。本產(chǎn)品采用新一代的高溫拉伸方案，加熱臺直接貼緊樣品，保證了溫度的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性。

掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng)將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實(shí)驗(yàn)樣品原位加熱。