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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES在納米材料研發(fā)、先進(jìn)儲(chǔ)能器件優(yōu)化及半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,材料在服役環(huán)境中的動(dòng)態(tài)行為研究至關(guān)重要。北京儀光憑借澤攸SEM/TEM原位分析系統(tǒng),突破了傳統(tǒng)靜態(tài)表征的局限,為科學(xué)家提供了實(shí)時(shí)觀測(cè)材料微觀結(jié)構(gòu)演變的“納米級(jí)顯微鏡”,成為推動(dòng)材料科學(xué)突破的關(guān)鍵工具。1.原位SEM:動(dòng)態(tài)形變與失效機(jī)制的“現(xiàn)場(chǎng)直播”ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡搭載的原位拉伸/壓縮模塊,可在真空或可控氣氛環(huán)境中對(duì)金屬、陶瓷、高分子材料進(jìn)行納米級(jí)精度的力學(xué)加載。例如,在鋰離子電池隔膜研究中,通過(guò)原位SEM可實(shí)時(shí)觀察隔膜...
在現(xiàn)代電子設(shè)備中,有一群“隱形功臣”——微型BUMPS。它們是集成電路里的核心連接器,負(fù)責(zé)實(shí)現(xiàn)堆疊管芯或中介層之間的電氣和機(jī)械連接,手機(jī)、平板、電腦等設(shè)備能高效運(yùn)轉(zhuǎn),可離不開(kāi)它們的功勞。01高精度測(cè)量,全面分析使用50倍干涉鏡頭,Sneox能對(duì)微型BUMPS進(jìn)行三維輪廓測(cè)量,在高分辨率下全面分析,驗(yàn)證其高度、直徑和平整度,有效防止粘合失敗并優(yōu)化電氣性能。更厲害的是,僅需3秒就能分析所有測(cè)量數(shù)據(jù),大大提高了效率。02性能,優(yōu)勢(shì)盡顯速度驚人:采用新的智能算法以及新型相機(jī),數(shù)據(jù)采集...
在傳統(tǒng)測(cè)量領(lǐng)域,復(fù)雜工件的檢測(cè)往往面臨效率低、操作繁瑣、動(dòng)態(tài)呈現(xiàn)不足等痛點(diǎn)。而SensoFIVE的出現(xiàn),正以其特別的五軸動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)呈現(xiàn)技術(shù),為這一領(lǐng)域帶來(lái)不一樣性的變革。傳統(tǒng)測(cè)量常受困于操作復(fù)雜、動(dòng)態(tài)呈現(xiàn)不足,而SensoFIVE的出現(xiàn)打破了這一局面。,時(shí)長(zhǎng)02:54它與Sneox五軸系統(tǒng)無(wú)縫協(xié)作,三維查看器能實(shí)時(shí)展現(xiàn)五軸運(yùn)動(dòng)細(xì)節(jié),旋轉(zhuǎn)角度、高度調(diào)整皆直觀可見(jiàn),讓測(cè)量從抽象變具象。放置樣本到平面托盤(pán),3D查看器可快速還原其形狀;借助旋轉(zhuǎn)支架測(cè)量圓柱體時(shí),實(shí)時(shí)反饋?zhàn)尣僮鞲憬?,?..
一、Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡核心應(yīng)用場(chǎng)景半導(dǎo)體制造與微電子檢測(cè)晶圓表面形貌測(cè)量:精確檢測(cè)晶圓表面粗糙度(Ra關(guān)鍵尺寸(CD)表征:利用共聚焦模式捕捉光刻膠結(jié)構(gòu)的側(cè)壁粗糙度(Sa封裝缺陷檢測(cè):檢測(cè)芯片與基板貼合平整度,發(fā)現(xiàn)空洞、翹曲等問(wèn)題,保障電子封裝電氣性能。例如,在動(dòng)力電池模組封裝中,通過(guò)30片/分鐘的高速檢測(cè)識(shí)別0.2μm涂層不均缺陷,年節(jié)省探針刮傷導(dǎo)致的報(bào)廢成本超280萬(wàn)元。精密零部件與模具制造表面粗糙度評(píng)估:測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、精密齒輪等高精度零部件的表面形貌...
一、Slynx2:多技術(shù)融合的三維測(cè)量方案該系統(tǒng)在同一傳感器頭內(nèi)集成干涉、共聚焦和AI多焦面疊加技術(shù),搭配6個(gè)不同鏡頭的電動(dòng)鼻輪與125×75毫米電動(dòng)XY平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)多尺度測(cè)量。點(diǎn)擊觀看網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)視頻↓,時(shí)長(zhǎng)38:28以髖關(guān)節(jié)植入物髖臼杯外部測(cè)量為例,采用共聚焦技術(shù)與50倍長(zhǎng)焦鏡頭,通過(guò)Z向掃描獲取三維圖像,再借助SensoVIEW軟件分析數(shù)據(jù),精準(zhǔn)評(píng)估表面狀況,為骨細(xì)胞整合優(yōu)化提供依據(jù)二、QvixPivot:支架缺陷檢測(cè)的專(zhuān)業(yè)之選作為針對(duì)支架與心臟瓣膜框架的檢測(cè)方案,其運(yùn)用...
在半導(dǎo)體芯片尺寸逼近物理極限、納米材料應(yīng)用突破傳統(tǒng)邊界的今天,如何實(shí)現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)器件的精準(zhǔn)測(cè)試與操控,成為制約科技創(chuàng)新的關(guān)鍵瓶頸。澤攸憑借自主研發(fā)的探針臺(tái)系列產(chǎn)品,以“三維定位精度達(dá)納米級(jí)、環(huán)境適應(yīng)性跨越-196℃至400℃”的核心技術(shù),為微納電子、光電材料、量子計(jì)算等領(lǐng)域提供了從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)化的全鏈條解決方案。一、半導(dǎo)體行業(yè)的“質(zhì)量守門(mén)人”在晶圓制造環(huán)節(jié),澤攸手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)通過(guò)特制熱沉設(shè)計(jì)將溫度波動(dòng)控制在±0.1℃以內(nèi),配合高精度微調(diào)樣品座,可實(shí)現(xiàn)0....
Ssw的定義與物理意義Ssw指的是與傅立葉變換最大值相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)。從表面紋理的構(gòu)成機(jī)制來(lái)看,任何物體表面都可視為不同尺度波的疊加組合,而傅立葉變換能夠定量分析各個(gè)波長(zhǎng)成分對(duì)整體紋理的貢獻(xiàn)程度。在此過(guò)程中,Ssw參數(shù)所表征的正是對(duì)表面紋理形成貢獻(xiàn)最大的波長(zhǎng)分量。需要特別指出的是,Ssw的應(yīng)用存在一定的適用范圍。當(dāng)面對(duì)缺乏明顯周期性圖案的表面時(shí),該參數(shù)的表征意義會(huì)相應(yīng)減弱。這是因?yàn)樵谶@種情況下,不存在占主導(dǎo)地位的波長(zhǎng)成分,傅立葉變換的最大值所對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)無(wú)法準(zhǔn)確反映表面的典型特征。...
在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)加工等高級(jí)領(lǐng)域,表面形貌的微小起伏可能直接影響器件性能。白光干涉儀憑借其納米級(jí)測(cè)量精度,成為微觀形貌檢測(cè)的“黃金標(biāo)準(zhǔn)”。其核心原理在于利用光的干涉現(xiàn)象,將表面高度變化轉(zhuǎn)化為可量化的光學(xué)信號(hào),實(shí)現(xiàn)非接觸、高精度的三維形貌測(cè)量。一、干涉原理:光程差與表面高度的精密映射白光干涉儀通過(guò)分光棱鏡將光源分為兩束光:一束投射至被測(cè)樣品表面,另一束射向參考鏡。兩束反射光在CCD相機(jī)感光面疊加形成干涉條紋。當(dāng)樣品表面存在高度差時(shí),光程差隨之變化——每移動(dòng)一個(gè)條紋間距,光程...
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